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国产EUV光源原型机亮相,荷兰巨头依旧淡定

2026-10-18

在芯片制造的世界里,有一颗璀璨的明珠,那就是极紫外光刻机(EUV)。如果说EUV光刻机是皇冠上的明珠,那么它的心脏EUV光源就是那根至关重要的“血管”,让光刻机有了生命。最近,在上海举行的第26届中国国际工业博览会上,Langdao Silex这家初创公司大放异彩,带来了一款名为“FlintNano LPP-OXXO”的EUV光源原型机。听说它的国产化率高达90%?这可是在“芯片界大侠”ASML注视下的一次冒险!

那么,EUV光是怎么“出生”的呢?别小看这道光,它的诞生过程就像是龙珠中的神龙召唤,得通过高功率激光准确瞄准微小的锡液滴,瞬间促使它变成高温等离子体,然后就优雅地辐射出极短波长的EUV光。这一切,简直是高科技的魔术表演!不过,正因为这个过程太过精细,激光器、液滴发生器、真空系统、收集镜等部件都是超高规格的“明星”,技术难度自然也是一座大山,让不少企业挠头不已。

聊聊这个原型机的技术参数吧。预计它的驱动激光能够输出1000瓦的功率,每秒循环频率高达20千赫兹,转换效率也达到令人咋舌的2%。不过,EUV输出功率可只有15瓦,这跟商用范儿的几百瓦的光源比,还是有点像一根小树枝跟大象比斗。虽然它很可能是研发和测试的金牌选手,但在真刀真枪的量产上,得再耐心等上几年。 MIX综合大盘安全登录入口

Langdao Silex预计,要等到3到5年后,才能指望着这个原型机走向商业化。不过从外媒的分析来看,这个3至5年就像是甜蜜的幻想,现实或许是需要8到10年的漫长路程。悲催的是,EUV光源只是EUV光刻机中的一块拼图,真正的挑战是拼凑起ASML那由数十万个零部件构成的神奇机器,背后更是800多家合作伙伴的强大供应链。想要追赶“光刻机大亨”,可不是充个电就能出发的旅行。

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不过,物流和技术的封锁似乎给了中国一些“倒逼式创新”的机会。ASML因为诸多出口管制政策,陷入了对华销售时的束缚,而中国市场对其的渴望似乎让ASML感到一丝不安。可随着封锁的加剧,中国的自主研发动力却如同“春风化雨”,悄然生长。Langdao Silex的原型亮相,意味着民间也在这一领域奋起直追,值得大家欢呼,但别急着高兴。

在这场光子较量中,EUV光源原型机的登场,是一个重要信号,但这仅仅是个开始。无论是技术突破,还是产业链的协同,都是一场耐力赛,最终拼的不仅仅是速度,还有那些长久不衰的创新与坚持。未来的科技主导权之争,绝对会是一个跌宕起伏的故事,欢迎大家继续关注! MIX综合大盘安全登录入口

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